Espectroscopía de Masas de Iones Secundarios
La Sección de Electrónica del Estado Sólido (SEES) del Departamento de Ingeniería Eléctrica cuenta con un espectrómetro de masas de iones secundarios modelo IMS-6F de la marca CAMECA. En el laboratorio SIMS se realiza investigación básica relacionada con el fenómeno de “Sputtering”, y también se realizan análisis de semiconductores en la parte tecnológica. En esta página podrás encontrar una breve descripción de la técnica analítica, características del espectrómetro, equipo de apoyo, integrantes, reportes y una sección de servicio con la intención de que se conozcan los alcances de nuestra labor. Análisis SIMS-EDX.
¿QUÉ ES EL SIMS?
SIMS es una técnica para el análisis de superficies la cual utiliza iones para bombardear la muestra, estos iones son llamados iones primarios y pueden ser de carga positiva o negativa. El impacto de los iones produce una erosión que resulta en partículas como átomos, moléculas, iones entre otras. Los iones producto de este bombardeo son llamados iones secundarios, son recolectados y seleccionados de acuerdo a su carga, energía y masa, finalmente son cuantificados. FOTO DEL FENÓMENO DE EROSIÓN IÓNICA.
Son varios los parámetros que se pueden modificar durante un análisis SIMS, con la posibilidad de hacer los siguientes tipos de análisis:
- Espectro de masas
- Perfil en profundidad
- Distribución espacial
- Distribución en energía
- Alta resolución